功能概述

应⽤于4/8/12寸Micro LED/OLED晶圆点灯AOI检测，使用自主研发JI-IYM-S 系列光谱分光式成像亮度计搭配 TEL P8 /P12探针台，集成ATE测试和AOI检测功能的检测一体设备，减少了分步作业对产品的二次污染，在提高检测效率的同时，也提高了检测的稳定性，减少了外界影响对产品造成的不良，提高了产品的良率。

应用展示

搭配精测自主研发的JI-IYM-S 系列光谱分光式成像亮度计，取代了传统的光学测试加AOI检测分步作业的方式，可以在光学测试的同时完成AOI检出。

外观检测及光电测试项目

配套精测电子自研探针台AOI软件

优势技术点

·   采用高分辨率光谱AOI相机，AOI取图同时能够输出亮度/色度/波长数据

·   使用精测自研晶圆标准AOI软件，支持晶圆检测实时动态缺陷及良率管理

·   基于深度学习缺陷检测，支持AI缺陷复判分类，过漏检率＜0.3%

·   实现高自动化：标准EFEM系统稳定可靠、精度高，防震等级VC-B，内部防尘等级Class100

·   可集成CP/ATE测试功能进行集成电路逻辑测试